芯联集成赢得实用新式专利授权：“一种晶圆解胶安装”
2024-04-07本站音尘，阐发企查查数据显露芯联集成（688469）新赢得一项实用新式专利授权，专利名为“一种晶圆解胶安装”，专利恳求号为CN202322400580.0，授权日为2024年4月5日。 专利摘抄：本实用新式提供一种晶圆解胶安装，该晶圆解胶安装包括：晶圆传送单位，用于对晶圆叠层进行传送；激光解胶单位，用于对晶圆叠层进行激光解胶处分；晶圆承载单位，用于承载脱离载体后的晶圆；撕胶单位，包括出动基座以及开采在出动基座上的撕胶机构和加压机构，出动基座设立为在晶圆承载单位与真空吸附单位之间出动，撕胶机构设